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產(chǎn)品與服務(wù)

FDC 設備故障偵測與分類(lèi)軟件

半導體加工設備投資成本巨大，晶圓廠(chǎng)建廠(chǎng)超過(guò)75%的成本用于設備采購，因此，設備效率最大化是半導體廠(chǎng)降低成本、提高效率的主要方式之一。以故障監測、分類(lèi)和預測為主要功能的設備故障偵測和分類(lèi)軟件FDC正是提高設備利用率的利器。


FDC的主要作用在于：一是避免設備故障造成的產(chǎn)品不良，提升產(chǎn)品良率；二是減少設備意外停機時(shí)間，提高產(chǎn)品周轉率。三是減少測試晶片運用，達到降低成本的目的


上揚軟件的Terra FDC采用「分層診斷」，透過(guò)一層層的故障偵測法則，如同天羅地網(wǎng)般偵測機臺設備可能發(fā)生的故障診斷與分類(lèi)。Terra FDC高頻次采集機臺生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵數據，利用算法和經(jīng)驗模型，包括統計學(xué)算法、工藝模型的算法和人工智能算法，預配置參數的限制值，持續監控設備參數，以對設備健康狀態(tài)提供主動(dòng)而快速的反饋，如偵測到設備故障，則采取相關(guān)警報和控制功能。


FDC 設備故障偵測與分類(lèi)軟件主要模塊包括

  • Data Control Service

    實(shí)現對數據的過(guò)濾，根據用戶(hù)設置的數據篩選條件，對數據實(shí)現有效的過(guò)濾，以實(shí)現數據清洗功能。

    Data Control Service

    實(shí)現對數據的過(guò)濾，根據用戶(hù)設置的數據篩選條件，對數據實(shí)現有效的過(guò)濾，以實(shí)現數據清洗功能。

  • Modeling Control Service

    實(shí)現數據流的控制，對生產(chǎn)機臺的數據流向進(jìn)行控制，以及系統的業(yè)務(wù)邏輯可以根據既定邏輯指定業(yè)務(wù)的處理。

    Modeling Control Service

    實(shí)現數據流的控制，對生產(chǎn)機臺的數據流向進(jìn)行控制，以及系統的業(yè)務(wù)邏輯可以根據既定邏輯指定業(yè)務(wù)的處理。

  • Detection Control Service

    實(shí)現對數據的檢查。對生產(chǎn)機臺的數據，能夠根據用戶(hù)建立的Modeling規則，對其應用規則進(jìn)行分析，能夠找出異常的數據。

    Detection Control Service

    實(shí)現對數據的檢查。對生產(chǎn)機臺的數據，能夠根據用戶(hù)建立的Modeling規則，對其應用規則進(jìn)行分析，能夠找出異常的數據。這一塊是FDC最重要的一個(gè)部分，這一塊模型的實(shí)現主要有兩個(gè)方面： 一是實(shí)時(shí)數據的偵測，即能夠對所有生產(chǎn)機臺的Real Time的數據進(jìn)行實(shí)時(shí)的檢測與分析，能夠快速分析出數據有沒(méi)有超越用戶(hù)所設置的上下限制；二是在生產(chǎn)機臺運行完當前生產(chǎn)后，能夠根據用戶(hù)設置的Modeling規則，對機臺進(jìn)行Summary的計算與分析。

  • Workflow Engine

    用戶(hù)自定義FDC的數據模型和工作流程。

    Workflow Engine

    用戶(hù)自定義FDC的數據模型和工作流程。

  • Component

    添加用戶(hù)的客制化的需求，采用插件方式開(kāi)發(fā)，可以快速客制化開(kāi)發(fā)用戶(hù)的新需求。

    Component

    添加用戶(hù)的客制化的需求，采用插件方式開(kāi)發(fā)，可以快速客制化開(kāi)發(fā)用戶(hù)的新需求。

  • Work Flow

    管理用戶(hù)自定義的workflow，并且根據workflow進(jìn)行運算。

    Work Flow

    管理用戶(hù)自定義的work flow，并且根據work flow進(jìn)行運算。

  • Event Service

    對機臺的Event事件進(jìn)行路由，通過(guò)事件能夠觸發(fā)用戶(hù)定義的workflow。

    Event Service

    對機臺的Event事件進(jìn)行路由，通過(guò)事件能夠觸發(fā)用戶(hù)定義的work flow。

  • Log Service

    記錄用戶(hù)的日志信息，能夠對整個(gè)FDC運行過(guò)程中產(chǎn)生的日志進(jìn)行記錄分析，并且能夠對日志進(jìn)行管理。

    Log Service

    記錄用戶(hù)的日志信息，能夠對整個(gè)FDC運行過(guò)程中產(chǎn)生的日志進(jìn)行記錄分析，并且能夠對日志進(jìn)行管理。

  • Data Management

    對FDC運行過(guò)程中所產(chǎn)生的數據進(jìn)行管理，主要包括數據的查詢(xún)，數據的保存，以及數據的刪除與數據的復用。

    Data Management

    對FDC 運行過(guò)程中所產(chǎn)生的數據進(jìn)行管理，主要包括數據的查詢(xún)，數據的保存，以及數據的刪除與數據的復用。

  • 軟件架構

    整個(gè)軟件的架構采用以服務(wù)為導向的設計架構SOA，使整系統具有良好的可擴展以及伸縮性。

    FDC的架構從上到下分別系統表現層，業(yè)務(wù)邏輯層，以及數據接口層。


  • 硬件架構

    EAP從DHS獲取DCP，并且結合DCP采集設備數據，把數據保存到DCP，然后把數據通過(guò)MQ發(fā)送給FD Server進(jìn)行運算分析。分析結果的操作通過(guò)MQ發(fā)送給MES或EAP。

    FDC通過(guò)MQ與EAP、MES對接OCAP以及CONTEXT信息 。


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